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CEM3000系列高抗振防磁性能掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備?？臻g分辨率出色和易用性強，用戶能夠非?？旖莸剡M行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

CEM3000系列國產(chǎn)材料科學臺式掃描電鏡能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇，滿足專業(yè)用戶的調節(jié)需求；搭配有多種探頭，能夠對樣品進行多種手段的分析。

?中圖儀器納米級表面形貌臺階儀單拱龍門式設計，結構穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。

中圖白光共聚焦顯微鏡以白光LED為光源，主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，保證儀器的高測量精度。

中圖儀器CEM3000系列多探頭SEM掃描電鏡采用鎢燈絲電子槍，其電子槍發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對真空度要求不高，使得鎢燈絲臺式掃描電鏡能夠在較短的時間內達到穩(wěn)定的工作狀態(tài)并獲得清晰的圖像，從而提高了檢測效率，節(jié)省了時間成本。

SuperViewW高精度3D白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。